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扫描电子显微镜SEM与透射电子显微镜TEM分析原理

扫描电子显微镜SEM

分析原理：用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、

X 射线等并放大成象

谱图的表示方法：背散射象、二次电子象、吸收电流象、元素的线分布和面分布等

提供的信息：断口形貌、表面显微结构、薄膜内部的显微结构、微区元素分析与定量元素分

析等

透射电子显微镜TEM

分析原理：高能电子束穿透试样时发生散射、吸收、干涉和衍射，使得在相平面形成衬度，

显示出图象

谱图的表示方法：质厚衬度象、明场衍衬象、暗场衍衬象、晶格条纹象、和分子象

提供的信息：晶体形貌、分子量分布、微孔尺寸分布、多相结构和晶格与缺陷等

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