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俄歇电子能谱学AES分析原理
俄歇电子能谱学（ Auger electron spectroscopy ）， 简称AES
俄歇电子能谱基本原理： 入射电子束和物质作用， 可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可能以X光的形式放出，即产生特征X 射线，也可能又使核外另一电子激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。对于一个原子来说,激发态原子在释放能量时只能进行一种发射：特征X 射线或俄歇电子。原子序数大的元素，特征X 射线的发射几率较大， 原子序数小的元素， 俄歇电子发射几率较大， 当原子序数为33 时，两种发射几率大致相等。因此，俄歇电子能谱适用于轻元素的分析。
